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NIKON尼康50XDI干涉物镜现货
NIKON尼康50XDI干涉物镜现货
尼康50X干涉物镜有货参数介绍
干涉测量镜头可用在非接触光学压型测量设备上，通过此镜头可得到表面位图和表面测量参数等。也可用来检测表面粗糙度，测量精度非常高，在一个波长之内。一束光通过分光镜，可将光直接射向样品表面和内置反光镜。从样品表面反射的光线通过再结合，就产生了干涉图案。与Mirau镜头比起来，Michelson镜头拥有更长的工作距离，更宽的视场和更大的焦深。Mirau镜头用在需要高倍率和/或大数值孔径的场合。采用Nikon200mm镜筒的话可将镜头直接装配到C接口相机上。
品名型号 产品号 放大率 数字孔径(NA)
50xNikon相干测量物镜 59-314 50X 0.55
焦深(μm) 视场,1/2" 传感器
0.9 FOV, 1/2" Sensor)0.13 x 0.10mm
视场, 2/3" 传感器
(FOV, 2/3" Sensor)
0.18 x 0.13mm
视场，20直径视场目镜(mm)0.22
视场，25直径视场目镜(mm)0.5
焦距FL (mm)4.0
生产商Nikon
安装螺纹RMS
分辨能力 (μm)0.5
类型Mirau
重量 (g)150.00
工作距离WD (mm)3.4
| 干涉物镜 | ||||||
|
|
2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
| 工作距离（mm） | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
| NA（数值孔径） | 0.055 | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.55 | 0.7 |
| FOV（mm）1 | 5093×3818 | 2546×1909 | 1270×950 | 637×477 | 254×190 | 127×95 |
| 空间采样（mm）2 | 6.64 | 3.32 | 1.62 | 0.83 | 0.33 | 0.17 |
| 光学分辨率 蓝光（L&S）（mm）3 | 2.55 | 0.93 | 0.46 | 0.31 | 0.25 | 0.20 |
| 光学分辨率 白光（L&S）（mm）3 | 3.04 | 1.11 | 0.56 | 0.37 | 0.30 | 0.24 |
| 大坡度4 | 3.05o | 8.6o | 14o | 21o | 25o | 42o |
| 垂直分辨率（nm）PSI7垂直分辨率（nm）ePSI7 | <0.1nm（PZT 0.01nm） | |||||
| 垂直分辨率（nm）VSI7 | 1nm5mm | |||||
| 垂直范围PSI(mm) | 5mm | |||||
| 垂直范围ePSI(mm) | 100mm | |||||
| 垂直范围VSI(mm) | 10mm | |||||
| 扫描速率（mm/s） | PSI：3-15mm/s VSI/ePSI：4-18mm/s | |||||
| 一般测量时间（s）9 | PSI：3s VSI：10s ePSI：30s | |||||
